Магнетронный распылительный источник с гибкой головкой

Устройство совместимо с источниками питания постоянного, импульсного постоянного и радиочастотного тока. Низкоимпедансная распылительная головка оснащена стандартным электрическим разъёмом типа HN, а для подключения к вакуумной камере предусмотрен быстросъёмный высоковакуумный соединитель. Конструкция рассчитана на применение аргона при пониженном давлении; уменьшение числа столкновений газа в камере повышает качество покрытия. Магнитная система с круглыми редкоземельными магнитами из неодима, железа и бора обеспечивает высокую напряжённость и однородный профиль поля. Магниты отделены от охлаждающей воды защитным антикоррозионным покрытием и выполнены сменными. Источник допускает прогрев до 200 °C. В комплект входят медная опорная пластина диаметром 25,4 мм и одна медная мишень. Мишени можно использовать толщиной до 3 мм. Охлаждение водой обязательно: требуемый расход фильтрованной воды составляет 1,893 л/мин, температура на входе должна быть ниже 20 °C. Подключение выполняется через быстросъёмы наружным диаметром 6,35 мм. Общая длина устройства составляет 355,6 мм, масса нетто — 1,361 кг. Наклон распылительной головки регулируется в диапазоне ±45°, а нанесённые риски позволяют точно выставлять угол. Монтаж выполняется обычным инструментом, а смена мишени не требует предварительного соединения с опорной пластиной.

Наименование производителя

1" Magnetron Sputtering Source with Flexible Head for DIY RF & DC Sputtering Coaters - HVMSS-SPC-1-LTD