Автоматическая 254-миллиметровая установка центрифужного нанесения покрытий с полипропиленовой камерой и вакуумным насосом

Лабораторная установка оснащена цифровым контроллером процесса. Скорость вращения и ускорение могут достигать 12 000 об/мин, диапазон расширяется с шагом 1 об/мин. Время процесса регулируется от 1 секунды до более чем 75 минут. Рабочая камера имеет чашеобразную форму. Крышка с центральным отверстием выполнена из химически стойкого материала. Вакуумный держатель из натурального полипропилена рассчитан на подложки размером от 50 до 150 мм, а вакуумный зажим — на подложки от 100 до 200 мм. Адаптер для лотков установлен над зажимом и предназначен для лотков размером от 10 до 50 мм. Предусмотрены дренажный выход и опция очистки азотом. Выхлопной контейнер оснащён съёмной полипропиленовой ёмкостью для слива при нанесении покрытий. Защитная блокировка двери не допускает открытия во время выполнения программы. Конструкция обладает антикоррозионными свойствами. Максимальный вакуум насоса составляет 730 мм рт. ст., максимальная производительность — 20 л/мин. Рабочее напряжение — 220 В, частота — 50/60 Гц.

Наименование производителя

10-Inch Automatic Spin Coater with PP Chamber for 8 Inch Wafer MG-EZ10-PP, 10-Inch Spin Coater with PP Chamber & Vacuum Pump MG-EZ10-PP