Ротационная трёхзонная трубчатая печь 1200 °C

Рама имеет регулируемый наклон 0–25° для облегчения загрузки и выгрузки порошка. Герметичные питатель и приёмник обеспечивают непрерывную обработку порошка массой до 1000 г. Встроенный ВЧ-источник мощностью 300 Вт работает на частоте 13,56 МГц и оснащён согласующей сетью для плазменно-усиленного процесса. Шестеренчатый привод вращает кварцевую трубу, а двигатель постоянного тока обеспечивает регулируемую скорость 2–10 об/мин. Три цифровых регулятора температуры поддерживают программирование до 30 сегментов с точностью ±0,1 °C. Печь работает от однофазной сети переменного тока 208–240 В; максимальная входная мощность составляет 4,0 кВт. Разъёмная крышка ускоряет охлаждение и упрощает работу. Кварцевая технологическая труба имеет наружный диаметр 127 мм. На обоих концах установлены быстросъёмные фланцы с портами, а магнитное жидкостное уплотнение позволяет вращать трубу без перекручивания подключённых линий подачи газа, порошка и электрических соединений. Четырёхканальная газовая станция оснащена массовыми расходомерами с точностью 0,02%; диапазоны каналов составляют 0–100, 0–200, 0–200 и 0–500 стандартных см³/мин. Предусмотрены автоматическая настройка расхода, ручные игольчатые клапаны из нержавеющей стали и сенсорное управление. С насосом соединены переходник и сильфон из нержавеющей стали. Внутри трубы достигается вакуум 10E-2 Торр. Сборный бак из нержавеющей стали имеет вместимость 2 л и может устанавливаться на выходном конце технологической трубы.

Наименование производителя

1200'C 5" Rotatable Three -Zone PECVD Rotary Tube Furnace W/ Feeding & Receiving for Powder PE-CVD & Cleaning