Двухканальная трубчатая печь

Трубчатая печь рассчитана на работу с пластинами размером 101,6 мм и оснащена двумя клапанами импульсного управления, одним каналом подачи жидкого пара и четырьмя газовыми каналами. Система подачи газа обеспечивает точность ±0,2 % полной шкалы. Длительность импульса пара и расход газа задаются через программируемый логический контроллер с сенсорной панелью размером 152,4 мм, установленной на мобильной тележке. Управление клапанами включает настройку длительности импульса и циклов с микросекундной точностью; минимальная длительность импульса составляет 10 мс. Нагрев выполняется с помощью тепловых исполнительных элементов. Печь имеет две отдельно управляемые зоны нагрева длиной по 200 мм, общая длина нагрева составляет 400 мм, а центральная область постоянной температуры достигает 250 мм при одинаковой температуре обеих зон. При непрерывном нагреве температура достигает 1100 градусов Цельсия, а разность температур между зонами с тепловыми блоками составляет до 500 градусов Цельсия. Два программируемых прецизионных цифровых контроллера имеют по 30 сегментов. Электропитание составляет 208–240 В переменного тока, одна фаза, частота 50/60 Гц; максимальная мощность — 4 кВт. Антикоррозионный манометр, независимый от типа газа, измеряет давление в диапазоне от 3,8 × 10⁻⁵ до 1125 Торр и отображает вакуумное давление. Система обнаружения атмосферы обеспечивает высокую точность и воспроизводимость, быстрое обнаружение сокращает время ожидания и технологический цикл. Сенсорный элемент легко заменяется. Вакуумный насос является опциональным и не входит в комплект; достижимый вакуум внутри рабочей трубы составляет 10⁻² Торр. Система управления может устанавливаться с короткой или вращающейся трубчатой печью.

Наименование производителя

1200°C Dual-Channel ALD Tube Furnace for 4" Wafers & Thin Film Research - ALD-1200X-4