Монитор толщины пленки

Монитор толщины пленки выполнен по модульной схеме. Измерительная плата, главный контроллер и другие узлы имеют модульное исполнение, поэтому в конфигурации можно комбинировать, добавлять и исключать модули в зависимости от задачи; платы обычной и высокой точности допускают совместное применение. Графический интерфейс управляется через сенсорный экран диагональю 177,8 мм и включает онлайн-справку. Каждая измерительная плата имеет два независимо работающих измерительных канала, а в одном мониторе можно установить до четырех плат. В обычном исполнении разрешение измерения частоты составляет 0,03 Гц, в высокоточном — 0,002 Гц при частоте измерения 6 МГц; стабильность частоты составляет соответственно ±0,1 и ±0,01 Гц. Опорным источником служит обычный кварцевый генератор либо термостатированный кварцевый генератор; последнему после включения требуется предварительный прогрев более 15 минут для стабильности измерений. Долговременная стабильность опорного источника составляет соответственно ±100 и ±1 частей на миллион при температурном диапазоне от −40 до 85 градусов Цельсия. Обновление измерений выполняется 10 раз в секунду, одно измерение занимает 0,1 с, а время выборки частоты составляет 0,1–10 с. Точность измерения толщины пленки составляет 0,1 и 0,01 ангстрема для обычного и высокоточного исполнения соответственно. Для материала покрытия предусмотрен алюминий. Точность измерения скорости нанесения составляет 0,1 и 0,01 ангстрема в секунду, общая точность измерения — менее 0,5 и 0,2% соответственно. В составе есть водоохлаждаемый зонд с начальной частотой пластины 6 МГц и диаметром 14 мм.

Наименование производителя

2-Inch Swing Magnetron Sputtering Target for Metal & Non-Metal Coating Equipment, MGSI SI-TM508/608 Quartz Crystal Microbalance (QCM) Film Thickness Monitor Laboratory Drying Equipment