Плазмоочиститель с функцией плазменного травления

Плазмоочиститель оснащён камерой из высокочистого кварца с наружным диаметром 215,9 мм, внутренним диаметром 208,28 мм, длиной 355,6 мм и объёмом 12 л. Передний фланец камеры выполнен из алюминия и имеет шарнирное соединение. Кварцевое окно для наблюдения имеет диаметр 58,42 мм, то есть примерно 60 мм. Предусмотрено полное экранирование РЧ-излучения без утечки РЧ. Панель управления с сенсорным экраном диагональю 152,4 мм автоматически регулирует уровень вакуума, расход газа, уровень РЧ-мощности и время очистки. Одноканальный массовый расходомер работает в диапазоне 0–500 мл/мин; предел отклонения расхода составляет ±0,5 мл/мин. Вакуумная система включает роторный пластинчатый насос производительностью 240 л/мин, выпускной фильтр, переходник и хомут; предельное общее давление составляет 50 мторр. Для плазменной обработки используются N2, Ar, воздух и газовые смеси, при этом горючие газы не применяются. РЧ-мощность регулируется в диапазоне 0–80 Вт при частоте 13,56 МГц. При высокой РЧ-мощности скорость удаления органических загрязнений составляет около 20 нм/мин. Суммарная максимальная мощность достигает 830 Вт; мощность насоса составляет 550 Вт в обычном режиме и 750 Вт при запуске, рабочий ток не превышает 3 А. Габариты установки — 620 × 600 × 600 мм, транспортировочная масса с насосом — 158,757 кг. ^*

*) Формулировки описания принадлежат зарубежному производителю и приведены без изменений. Инженеры отдела 91Т уже поставили в план техническую и стилистическую редактуру описания. В ближайшее время мы пересмотрим характеристики и терминологию, проверим технические детали и доработаем текст описания ЛДА-94(4У), чтобы он отвечал на большинство вопросов и ясно раскрывал назначение и возможности оборудования. Хотите получить ответ быстрее — задайте вопрос сейчас же.

Наименование производителя

2025 Hot Sale 3 L Plasma Cleaner with Vacuum Pump & Digital Controller, 6"Dx6.5"L Quartz Chamber - PCE6, 2025 Hot Sale 8.5" RF Plasma Cleaner / Etcher with Vacuum Pump. (12 Liter, 13.56 Mhz, 80W Max.) - EQ-PCE-8, 8.5" RF Plasma Cleaner / Etcher with Vacuum Pump. (12 Liter, 13.56 Mhz, 80W Max.) - EQ-PCE-8