Монитор толщины тонких плёнок и скорости осаждения

Монитор толщины тонких плёнок и скорости осаждения измеряет толщину осаждённого слоя по изменению частоты колебаний кварцевого кристалла, вызванному массой материала на его верхней поверхности. Измерительный модуль подключается к компьютеру; дисплей отображает толщину плёнки, скорость осаждения, частоту, процент выходного сигнала ШИМ и другие рабочие состояния. С помощью программного обеспечения или дисплейного прибора настраиваются время стробирования, режим выхода, алгоритм расчёта скорости, параметры материала, диапазон выхода и параметры связи. Данные можно записывать в файл электронной таблицы. Питание измерительного модуля составляет 5 В постоянного тока с допуском ±10%, максимальный ток — 400 мА. Разрешение частоты равно ±0,03 Гц, разрешение толщины для алюминия — 0,0136 Å, точность измерения толщины — ±0,5% и зависит от условий процесса, включая положение датчика, напряжение в материале, температуру и плотность. Скорость измерения настраивается в диапазоне 100 мс–1 с за одно измерение, диапазон измерения для алюминия составляет 500000 Å. Стандартная частота кварцевого элемента — 6 МГц. Последовательный интерфейс 485 поддерживает скорости передачи 1200, 2400, 4800, 9600, 19200 и 38400 бод, 8 бит данных, 1 стоповый бит и отсутствие проверки. Аналоговый выход имеет разрешение 8 бит и работает в режиме ШИМ с открытым коллектором или внутренним выходом 5 В. Рабочая температура составляет 0–50 °C, относительная влажность — 5–85% без конденсации. Дисплейный прибор рассчитан на входное питание 220 В переменного тока с допуском ±10% и выдаёт 5 В постоянного тока, 3 А; его индикация выполнена цифровым индикатором 12 × 2 и светодиодом. Датчик поддерживает частоту элемента 6 МГц и размер элемента диаметром 14 мм; охлаждающая водяная трубка имеет диаметр 3 мм и длину 300, 500 или 1000 мм.

Наименование производителя

2026 Hot Sale TM106-LD In-Situ Thin Film Thickness Monitor | Deposition Rate Monitor with Software & Quartz Crystal Sensor