Артикул: 508-348
Модель: МЭК-45(4Е)
Секция: Дополнительная
Трёхголовочная магнетронная установка
Камера установки выполнена из высокочистого кварца и имеет наружный диаметр 256 мм, внутренний диаметр 238 мм и высоту 276 мм. Уплотнительный фланец диаметром 274 мм изготовлен из алюминия и оснащён высокотемпературным силиконовым уплотнительным кольцом. Защитная клетка из нержавеющей стали предназначена для полного экранирования излучения от камеры. Вакуумный порт встроен для подключения насоса: с двухступенчатым механическим насосом достигается уровень вакуума 1.0E-2 Торр, а с турбонасосом — 1.0E-5 Торр. Держатель образца представляет собой вращаемую нагреваемую платформу с керамическим нагревателем и крышкой из нержавеющей стали. Он имеет диаметр 50 мм и рассчитан на пластины размером до 50,8 мм. Скорость вращения регулируется в диапазоне 1–10 об/мин. Рабочее расстояние регулируется от 50 до 80 мм, угол обработки — от 0 до 25°. Охлаждение головок обеспечивается рециркуляционным водяным охладителем производительностью 10 л/мин. Максимальный размер мишени составляет 25,4 мм в диаметре при толщине до 3,175 мм. Медная мишень диаметром 25,4 мм включена для демонстрационного тестирования. Габариты установки — 540 × 540 × 1000 мм, масса нетто — 60 кг.
Задать вопрос Искать на Baidu
Какую задачу решает магнетронная установка
Магнетронная установка используется в лабораторных исследованиях для нанесения многослойных оксидных тонких плёнок на монокристаллические оксидные подложки.
Характеристики МЭК-45(4Е)
Модель (по базе 91Т)МЭК-45(4Е)
Максимальная температура600 °C
Номинальная мощность100 Вт
Магнетронная установка - гибкость поставки.
Каждый проект по-своему уникален, и мы это понимаем. Именно поэтому по запросу мы можем обсудить корректировку технических характеристик, типоразмеров и комплектации МЭК-45(4Е) под условия применения (на базе производителя-оригинала или нашего завода в России).
Каждый проект по-своему уникален, и мы это понимаем. Именно поэтому по запросу мы можем обсудить корректировку технических характеристик, типоразмеров и комплектации МЭК-45(4Е) под условия применения (на базе производителя-оригинала или нашего завода в России).
Данные проверены на актуальность: 25.09.26
Информация о производителе и характеристиках подтверждена.
