Компактная система плазменной очистки с цифровым вакуумметром

Камера системы выполнена из высокочистого кварца, имеет диаметр 76,2 мм, длину 165,1 мм и вместимость 700 мл. Высокочистый кварц имеет более длительный срок службы, чем стекло. Съёмная кварцевая трубка внутри камеры облегчает очистку и замену, а шарнирная дверца упрощает загрузку образцов. Кварцевая лодочка предусмотрена как опция. Игольчатый и трёхходовой клапаны имеют резьбу 3,175 мм NPT: игольчатый регулирует поток газа и давление в камере, а трёхходовой переключает подачу газа, изоляцию камеры и вентиляцию. В комплект входит двухступенчатый роторно-пластинчатый вакуумный насос. Радиочастотная мощность подаётся на катушку и регулируется на трёх уровнях: низкий — 680 В, 10 мА и 7 Вт; средний — 700 В, 15 мА и 11 Вт; высокий — 720 В, 25 мА и 18 Вт. Частота составляет 13,56 МГц. Рабочие газы включают N2, Ar, воздух и смеси инертных газов; поддерживается инертная газовая смесь с содержанием H2 менее 5%, горючие газы не используются. Максимальная скорость удаления органических загрязнений при высокой радиочастотной мощности составляет около 10 нм/мин. Масса очистителя — 18,14 кг.

Наименование производителя

Compact 0.7 L Plasma Cleaner with Digital Vacuum Gauge 3"Dx 6.5"L Quartz Chamber 13.56 Mhz for Lab Drying Equipment-Model PCE3