Компактная вакуумная установка для испарительного нанесения тонкоплёночных покрытий

Компактная установка оснащена поворотным держателем образцов и отдельным блоком питания, размещённым снизу для удобного обслуживания. Сенсорная панель управляет вакуумом, током испарения и временем процесса. Вакуумная камера выполнена из кварца; её наружный диаметр составляет 152,4 мм, высота — 254 мм. Нижний держатель образцов имеет диаметр 50 мм, регулируется по высоте, а функция вращения является опциональной и выполняется со скоростью 5 об/мин. В конструкции предусмотрены встроенные клапаны подачи и выпуска газа, а также порт для подключения вакуумного насоса. В верхней части фланца установлен вольфрамовый нагреватель с ручной заслонкой; в комплект входят три вольфрамовые нагревательные спирали и углеродная нить длиной 0,6096 м. Блок питания принимает переменный ток 208–240 В при частоте 50/60 Гц; вариант на 110–120 В доступен через трансформатор. Выход составляет 10 В переменного тока при максимальном токе 50 А, потребляемая мощность — 700 Вт. Уровень вакуума достигает 10^-2 торр при использовании двухступенчатого пластинчато-роторного насоса или 10^-5 торр при использовании турбонасоса; вакуумный насос в комплект не входит. Габариты установки — 360 × 300 × 380 мм, масса — 50 кг. Для длительной работы рекомендуется ток менее 40 А, а для материалов с низкой скоростью испарения достаточно 30 А. Перед нанесением камера продувается смесью 5% H2 и 95% N2 два-три раза для снижения содержания кислорода и улучшения вакуума.

Наименование производителя

Compact Vacuum Carbon & Metal Evaporation Coater with Touch Screen Control for Lab Thin Film Deposition - SPC-1