Вакуумная установка для центрифужного нанесения покрытий

Вакуумная установка для центрифужного нанесения покрытий имеет камеру, в которой образец можно обрабатывать в полностью вакуумных условиях. Образец фиксируется вакуумной адсорбцией, склеиванием или зажимом; при вакуумной фиксации применяется безмасляный вакуумный насос. Центрирование выполняется позиционирующим приспособлением, снижающим вибрацию и риск вылета образца при смещении. Для образцов разных размеров предусмотрены сменные патроны. Система хранит 12 программ, каждая программа включает 6 этапов. Для каждого этапа задаются скорость ускорения и замедления 100–2000 об/мин/с и время 0–60 с. Скорость вращения регулируется в диапазоне 500–6000 об/мин, размер патрона — Ø100 мм. Вакуум в камере достигает −0,08 МПа; при непрерывной работе механического насоса достигается вакуум до 1 торр. Бесщёточный двигатель постоянного тока имеет напряжение 24 В и мощность 350 Вт, электропитание установки — 220 В, 50 Гц. Покрытие может выполняться в атмосфере инертного газа, например Ar или N₂. Камера изготовлена из полипропилена PP, устойчивого к химической коррозии и растрескиванию под напряжением, а корпус выполнен из литого алюминия. При открытии верхней крышки во время нанесения покрытия или после его завершения установка быстро замедляется и останавливается. Блок управления оснащён числовым ЖК-дисплеем, операционная система — на английском языке. Габариты составляют Ø250 × 300 мм, масса — 25 кг. Для установки требуется рабочий стол 600 × 600 × 700 мм с допустимой нагрузкой более 50 кг, хорошее заземление и вентиляция; вода не требуется, подача газа не предусмотрена. Эксплуатация возможна на высоте не более 1000 м при температуре 25 ± 15 °C и относительной влажности 55 ± 10 %.

Наименование производителя

High Precision Vacuum Atmosphere Spin Coater 10000RPM for 6" Wafer & Substrate Coating VTC-200PV