Лабораторная трубчатая печь

Трубчатая печь оснащена рабочей трубой диаметром 101,6 мм, двумя клапанами с импульсным управлением, одним каналом подачи жидкости и пара, а также четырьмя каналами подачи газа. Минимальная длительность импульса клапана составляет 10 мс; клапаны могут нагреваться термоприводами. Управление временем импульса паров и расходом газа выполняется программируемым логическим контроллером через сенсорную панель размером 152,4 мм, установленную на мобильной тележке. Точность регулирования расхода газа составляет ±0,2 % полной шкалы, а давление в вакуумной системе отображается на панели. Печь имеет два независимо управляемых нагревательных участка длиной 200 мм каждый и общей длиной нагрева 400 мм. При одинаковой температуре участков центральная зона постоянной температуры составляет 250 мм; максимальная разница температур между участками с тепловыми блоками составляет 500 °C. Непрерывный нагрев возможен до 1100 °C. Предусмотрены два программируемых цифровых регулятора температуры с 30 сегментами. Входное питание рассчитано на 208–240 В переменного тока, одну фазу и максимальную мощность 4 кВт. Антикоррозионный манометр измеряет давление в диапазоне 3,8 × 10^-5–1125 торр независимо от типа газа. Сенсорный элемент легко заменяется без сложной настройки. Опциональный вакуумный насос обеспечивает вакуум 10^-2 торр внутри рабочей трубы. Дополнительно могут устанавливаться кварцевый кристалл и термопара для контроля толщины тонкой пленки и температуры. Система управления может устанавливаться вместе с короткой или вращающейся трубчатой печью.

Наименование производителя

High Temperature 1200°C 2-Channel ALD Equipment | 4" Tube Furnace Atomic Layer Deposition for Lab Thin Film Growth