Установка магнетронного распыления с головкой 50,8 мм

Установка магнетронного распыления оснащена одной головкой с водяной рубашкой, которая устанавливается в кварцевую камеру с помощью быстрозажимного соединения. Вакуумная камера изготовлена из высокочистого кварца и имеет наружный диаметр 160 мм, внутренний диаметр 150 мм и высоту 250 мм. Уплотнительный фланец диаметром 165 мм выполнен из алюминия и оснащён высокотемпературным силиконовым уплотнительным кольцом. В комплект входят медная мишень толщиной 3 мм для демонстрационного испытания, ручная заслонка на фланце и сетчатый кожух из нержавеющей стали для экранирования радиочастотного излучения. Держатель образца вращается и изготовлен на основе керамического нагревателя с кожухом из нержавеющей стали; его диаметр составляет 50 мм, а скорость вращения регулируется в диапазоне 1–10 об/мин. Для охлаждения головки требуется цифровой рециркуляционный охладитель воды с производительностью 16 л/мин. Вакуумный порт встроен в конструкцию, насос с адаптером требуется отдельно и в комплект не входит. При использовании двухступенчатого механического насоса вакуумный уровень составляет 1,0 × 10⁻² Торр, а с турбомолекулярным насосом достигает 1,0 × 10⁻⁵ Торр. Опционально доступен кварцевый датчик толщины с точностью 0,10 Å, который устанавливается в камеру для контроля толщины слоя; для отображения кривой требуется ноутбук.

Наименование производителя

Hot Sale Compact 2" Magnetron Sputtering Coater with DC or RF Power for Glovebox Integration Thin Film Deposition VTC-STX-XX