Настольная вакуумная магнетронная плазменная установка для нанесения покрытий с сушильной печью

Гибкая распылительная головка с водяным охлаждением имеет диаметр 50,8 мм. Допустимая толщина мишени составляет до 6,35 мм для немагнитной и до 1,5875 мм для магнитной мишени. Вращающаяся площадка из нержавеющей стали диаметром 50 мм работает со скоростью 0–5 об/мин, а расстояние между головкой и площадкой регулируется в диапазоне 60–100 мм. Максимальный диаметр зоны нанесения составляет 101,6 мм. Для охлаждения предусмотрен рециркуляционный водяной охладитель с воздушным охлаждением и расходом 10 л/мин. Ручная заслонка защищает мишень, а держатель служит для размещения распылительной головки во время простоя. Сенсорная панель управления с интеграцией программируемого логического контроллера имеет диагональ 152,4 мм и используется для контроля вакуума и тока. Входное питание составляет 220 В переменного тока при частоте 50/60 Гц. Питание 110 В возможно через отдельный трансформатор мощностью 1000 Вт с предохранителем 15 А. Выходные параметры включают постоянное напряжение 1600 В, мощность 250 Вт и ток до 150 мА; при превышении этого значения действует защита от сверхтока. Встроенный вакуумный порт и игольчатый клапан обеспечивают подключение вакуумной системы и подачу аргона. Для работы требуется баллон с аргоном и регулятором давления. Пластинчато-роторный вакуумный насос обеспечивает давление менее 1,0×10^-2 Торр, а турбомолекулярный насос — менее 1,0×10^-5 Торр. При ночной откачке и прогреве минимальное давление может составлять менее 4,0×10^-6 Торр. Насосы не входят в комплект. В комплект входит медная мишень диаметром 50,8 мм и толщиной 2,5 мм. Система работает с мишенями из золота, серебра, алюминия, хрома, никеля, платины, титана, олова, лития и магния. Для непроводящих материалов и полупроводников опционально доступен высокочастотный генератор. Дополнительно доступны монитор толщины пленки, нагреваемая до 500 °С площадка образца и расходомер для точного контроля подачи газа. Масса при транспортировке составляет 72,5747792 кг, габариты — 1143 × 1143 × 1016 мм.

Наименование производителя

Lab Desktop Single Target Vacuum Magnetron Plasma Sputtering PVD Coating Machine Gold Chrome Copper VTC-16 with Drying Oven