Лабораторная установка для нанесения покрытий термическим испарением и магнетронным распылением

Установка имеет кварцевую вакуумную камеру с наружным диаметром 165 мм, внутренним диаметром 150 мм и высотой 250 мм. В верхнем фланце размещена поворотная платформа для образцов диаметром 50 мм со скоростью вращения от 0 до 5 об/мин. Для защиты мишени предусмотрена ручная шторка, а расстояние между распылительной головкой и платформой регулируется в диапазоне от 60 до 100 мм. В конструкции предусмотрены вольфрамовый спиральный нагреватель, тигель из оксида алюминия и цифровой регулятор температуры с 30 программируемыми сегментами и точностью ±1 °C. Нагревательная система рассчитана на температуру до 1700 °C; в комплект входят четыре тигля из оксида алюминия и два вольфрамовых нагревателя. Вакуумный порт предназначен для подключения насоса, а газовый ввод с игольчатым клапаном обеспечивает подачу и регулирование газа. Распылительная головка имеет водяное охлаждение; в комплект входит рециркуляционный охладитель воды с расходом 10 л/мин. Медная мишень имеет диаметр 50,8 мм и толщину 2,5 мм. Панель управления оснащена сенсорным экраном диагональю 152,4 мм и интеграцией с ПЛК для контроля вакуума и тока.

Наименование производителя

Lab Small High Vacuum Organic Inorganic Thermal Evaporation Coating Equipment Motor Engine High Precision Temperature Control, MGSI High Power DC Magnetron Sputtering Coater w Rotary Stage & Water Chiller - VTC-16-SM Lab Drying Equipment