Артикул: 514-725 Модель: ВБЭ-79(5Т) Секция: Дополнительная

Лабораторная вакуумная печь с вращающимся держателем для полупроводниковых пластин

Лабораторная вакуумная печь имеет вакуумную камеру из нержавеющей стали с внутренним диаметром 500 мм и высотой 460 мм. Максимальная рабочая температура составляет 950 °C. Верхний и нижний инфракрасные нагреватели управляются раздельно; расстояние между ними регулируется в диапазоне 2–25 мм. Вращающийся держатель для полупроводниковой пластины рассчитан на диаметр 304,8 мм, а его скорость регулируется от 1 до 10 об/мин. Два кварцевых окна диаметром 60 мм обеспечивают наблюдение за процессом. Герметичная сдвижная заслонка перекрывает источник испарения при высоком вакууме. Турбонасос обеспечивает вакуум до 10⁻⁵ торр, механический насос — до 10⁻² торр. Нагреватели изготовлены из нержавеющей стали, оснащены водоохлаждаемыми рубашками и графитовыми пластинами для выравнивания нагрева. В комплект входит циркуляционный охладитель с расходом 58 л/мин. Система управления включает два цифровых регулятора температуры с программированием на 24 сегмента и точностью ±0,1 °C, сенсорный компьютер и программируемый логический контроллер. Сенсорный компьютер управляет температурными профилями, вакуумным давлением и подъёмом фланца; предусмотрено 10 предварительно заданных программ. Допустимая разность температур между нагревателями составляет не более 300 °C.
Наименование производителяLaboratory 950°C Max CSS and RTP Furnace With Rotating Holder for 12" Wafer - OTF-1200X-RTP-II-CSS-300
Задать вопрос Искать на Baidu

Какую задачу решает лабораторная вакуумная печь

Лабораторная вакуумная печь используется для нанесения плёночных покрытий на полупроводниковые пластины, их отжига и исследования тонких плёнок для сульфидных и перовскитных солнечных элементов.
Нанесение покрытий
Термическая обработка

Характеристики ВБЭ-79(5Т)

Модель (по базе 91Т)ВБЭ-79(5Т)
Максимальная температура650
Номинальная мощность400–550 кВт
Лабораторная вакуумная печь - гибкость поставки.
Мы знаем, что задачи каждого проекта отличаются. Поэтому по вашему запросу мы готовы рассмотреть возможность адаптации технических характеристик, типоразмеров и комплектации ВБЭ-79(5Т) под конкретные условия применения (силами первого производителя или силами нашего завода в России).

Дата актуализации информации: 08.10.26

Производитель и параметры оборудования проверены.

Люди, которые искали Лабораторная вакуумная печь, также смотрели: