Лабораторное оборудование для высоковакуумного атомно-слоевого осаждения

Реакционная камера рассчитана на образцы размером до 152,4 мм и высотой не более 6 мм; по требованиям пользователя возможна настройка для образцов большей высоты. Высокотемпературная система уплотнения с защитой азотом и двойным уплотнительным кольцом предотвращает утечку других газов. Диапазоны нагрева начинаются с комнатной температуры: верхний предел для подложки составляет 400 °C, для камеры и нагреваемых источников — 200 °C; точность регулирования подложки, камеры и источников равна ±1 °C, а нагрев всех трубопроводов регулируется. Три режима осаждения включают непрерывный высокоскоростной режим, режим для структур со сверхвысоким аспектным отношением и режим с плазменным усилением. Узел источников прекурсоров включает пять позиций: один ненагреваемый источник и четыре нагреваемых; нагреваемые источники оснащены ручными высокотемпературными клапанами, стандартный флакон имеет объем 50 см³, а этот источник может подключаться к воде, озону, кислороду, аммиаку, сероводороду и другим веществам для получения оксидов, нитридов и сульфидов; каждый нагреваемый источник может подключаться к соответствующему прекурсору. Трубопроводы прекурсоров выполнены из нержавеющей стали 316 л в исполнении EP; каждый прекурсор оснащен специализированным быстродействующим высокотемпературным клапаном со встроенным поверхностным монтажом, нагрев корпуса которого регулируется; такой клапан можно заменить глухой пластиной во время обслуживания или замены, а нагрев выпускной трубы и отсечного клапана регулируется от комнатной температуры до 150 °C. Вакуумметр широкого диапазона измеряет давление от 2×10^-4 до 10^3 торр. Озоногенераторная система включает генератор озона высокой концентрации, трубопроводы и принадлежности для крекинга; максимальная производительность превышает 15 г/ч, мощность регулируется от 0 до 300 Вт, а максимальная концентрация превышает 3,5 % (мас./мас.). Блок управления на базе ПЛК и специализированное программное обеспечение автоматически регулируют нагрев, потоки и другие процессы осаждения, а также в реальном времени контролируют тепловой режим и давление; для создания вакуума используется механический насос.

Наименование производителя

Laboratory Equipment High Vacuum Atomic Layer Deposition with Plasma Enhancement