Артикул: 508-419
Модель: ЖЮХ-87(9Ю)
Секция: Дополнительная
Лабораторный источник магнетронного распыления
Источник оснащён гибкой распылительной головкой, совместимой с источниками распыления диаметром 25,4 мм. Он работает с блоками питания постоянного, импульсного постоянного и радиочастотного тока. Высоковакуумная конструкция рассчитана на использование аргона при низком давлении, что уменьшает количество газовых столкновений внутри камеры и способствует повышению качества покрытия. Круглые редкоземельные магниты изолированы от охлаждающей воды защитным покрытием от коррозии; их можно заменять непосредственно на месте эксплуатации. Магнитный узел рассчитан на высокую напряжённость и равномерный профиль поля с применением электромагнитных конечно-элементных расчётов. Низкоимпедансная распылительная головка с разъёмом HN совместима с широким диапазоном источников питания постоянного и радиочастотного тока. Установка выполняется обычными инструментами, а замена мишени не требует приклеивания. Источник допускает нагрев до 200 °C. В комплект входят медная опорная пластина, одна медная мишень, стандартный разъём HN и быстросъёмный вакуумный соединитель. Диаметр распылительной головки составляет 46,3 мм, диаметр мишени — 25,4 ± 0,508 мм, максимальная толщина мишени — 3 мм, наружный диаметр вала — 19,05 мм. Максимальная мощность составляет 250 Вт для постоянного тока и 100 Вт для радиочастотного режима; ток катода — до 3 А, напряжение катода — 200–1000 В. Рабочее давление находится примерно в диапазоне от 1 мТорр до 1 Торр. Требуется водяное охлаждение с расходом 1,8927 л/мин фильтрованной воды и температурой на входе ниже 20 °C; используются быстросъёмные соединители с наружным диаметром 6,35 мм. Общая длина источника составляет 355,6 мм, масса — 5 кг. Распылительную головку можно наклонять на ±45° для регулировки угла падения частиц, а разметочные линии обеспечивают точную настройку угла.
Задать вопрос Искать на Baidu
Какую задачу решает источник магнетронного распыления
Источник магнетронного распыления применяют для распыления металлических, электрически изолирующих, магнитных и немагнитных мишеней при нанесении вакуумных покрытий и изготовлении тонких плёнок.
Характеристики ЖЮХ-87(9Ю)
Модель (по базе 91Т)ЖЮХ-87(9Ю)
Материалмагнетронное распыление, распылительная пушка
Источник магнетронного распыления - гибкость поставки.
Мы учитываем, что каждый проект индивидуален. В связи с этим по запросу мы уточним, возможна ли донастройка технических характеристик, типоразмеров и комплектации ЖЮХ-87(9Ю) под ваши требования (усилиями первого изготовителя или собственного завода в России).
Мы учитываем, что каждый проект индивидуален. В связи с этим по запросу мы уточним, возможна ли донастройка технических характеристик, типоразмеров и комплектации ЖЮХ-87(9Ю) под ваши требования (усилиями первого изготовителя или собственного завода в России).
Дата актуализации информации: 08.10.26
Производитель и параметры оборудования проверены.
Люди, которые искали Источник магнетронного распыления, также смотрели:
+3 фотоУльтразвуковая система распылительного нанесения покрытий
Модель: НЮМ-12(2Ж)
Система формирует из жидкости капли размером в несколько микрон с помощью ультразвуковой энергии и распыляет их на цилиндрические поверхности. Ультразвуковой распылительный узел встроен во вращающуюся раму для цилиндрических образцов. Максимальная длина образца между центрами составляет 430 мм, диам
+4 фотоПортативный генератор
Модель: АБЭ-27(8С)
Генератор оснащен системой снижения шума: внутри установлены два глушителя, а большой глушитель выполнен по двухслойной схеме. Звукопоглощающий материал высокой плотности обладает огнестойкостью и устойчивостью к высокой температуре. Электрический запуск упрощает включение установки, а индукционный
+5 фотоЛабораторный планетарный 3D-смеситель
Модель: НЯН-49(5У)
Смеситель выполнен в настенном исполнении. Мощность составляет 0,5 кВт, напряжение — 220 В. Предусмотрена дополнительная возможность индивидуального нанесения.
+1 фотоПрибор для быстрого измерения содержания хлорид-ионов
Модель: ЛЮМ-49(8Р)
Погрешность измерения составляет ±1%. Класс точности — высокая точность. Степень защиты — IP55. Для работы используется напряжение 220 В; предусмотрен вариант с другим напряжением.




