Сферическая система импульсного лазерного осаждения

Система выполнена с ручной передней дверцей и вакуумной камерой со смотровым окном. Компоненты камеры и принадлежности изготовлены из нержавеющей стали 304, соединены аргонодуговой сваркой, а поверхности обработаны стеклянной дробеструйной обработкой, электрохимической полировкой и пассивацией. Эффективный размер камеры составляет 300 мм. Предельное давление после прогрева и дегазации не превышает 6.67×10^-5 Па; при проверке герметичности скорость натекания не превышает 5.0×10^-7 Па·л/с. Откачка от атмосферного давления до 8.0×10^-4 Па занимает 40 минут, а после остановки насоса на 12 часов давление не превышает 20 Па. Столик образца рассчитан на образец диаметром 40 мм, вращается со скоростью 1–20 об/мин; расстояние между столиком подложки и вращающейся мишенью составляет 40–90 мм. Максимальная температура нагрева образца — 800 °C, точность регулирования — ±1 °C. Поворотная мишень имеет четыре позиции диаметром по 40 мм, обеспечивает обращение и самовращение; открыта только одна позиция, а лазерный луч направляется на верхнюю позицию. В камере предусмотрены устройства сигнализации прогрева, освещения и давления воды. Узлы управления вакуумом собраны в одном блоке; предусмотрены отдельный контроллер тока испарительного нанесения, пять водоохлаждаемых электродов для четырёх нагревательных лодочек и возможность установки измерителя толщины плёнки с разрешением 0,1 ангстрема для алюминия. Также допускается использование циркуляционного охладителя воды.

Наименование производителя

MGSI Spherical Pulsed Laser Deposition System (PLD) with 110-220V AC Power Adapter Lab Drying Equipment, Laboratory High Vacuum Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition System (PECVD) for Plasma-assisted Thin-film Coating VTC-PECVD, MGSI Vacuum Thermal Evaporation Coater with Four Heating Sources 110-220V AC Power Adapter Included