Двухканальный блок управления подачей газов
Модель: РШЯ-58(8Ж)
Блок управления обеспечивает точную подачу прекурсоров, смешивание и подачу несущих газов. Сенсорная панель ПЛК с диагональю 6 дюймов установлена на мобильной тележке. Клапаны предназначены для подачи осушающего газа или паров жидкого прекурсора; длительность и цикличность импульсов задаются с микро
