Артикул: 516-205 Модель: ЕГЯ-89(8Ж) Секция: Дополнительная

Встроенная в перчаточный бокс система магнетронного распыления

Перчаточный бокс из нержавеющей стали имеет размеры 1200 × 740 × 900 мм и оснащён откидной передней дверью. Автоматическая продувка удаляет воздух перед рециркуляционной очисткой, а функция автоматической регенерации встроена в панель управления. Две шлюзовые камеры предназначены для передачи крупных и малых образцов. Система очистки поддерживает содержание кислорода и паров воды ниже 1 части на миллион. Распылительный узел утоплен в нижней части бокса и соединён с герметичным фланцем. Магнетронные головки оснащены водоохлаждаемыми кожухами и шторками, рассчитаны на мишени диаметром 50,8 мм и толщиной 0,1–5 мм. Источник постоянного тока мощностью 500 Вт используется для металлических материалов, а радиочастотный источник мощностью 300 Вт при частоте 13,56 МГц — для непроводящих материалов. Вакуумная камера из нержавеющей стали имеет диаметр 300 мм и высоту 300 мм, а стеклянный смотровой порт — диаметр 100 мм. Держатель образца представляет собой вращаемую нагреваемую платформу с керамическим нагревателем и медной крышкой. Его диаметр составляет 140 мм, скорость вращения регулируется в диапазоне 1–20 об/мин, а температура достигает 500 °C с точностью ±1 °C. Для подачи двух типов газа предусмотрены два массовых расходомера.
Наименование производителяVTC-600-2HD-GB-LD Dual-Head Magnetron Sputtering Coater Integrated in Glovebox for High Purity Thin Film Deposition, VTC-600-3HD-GB Professional 3-Head Magnetron Sputtering Coater in Glovebox with RF & DC Power for Thin Film Deposition
Задать вопрос Искать на Baidu

Какую задачу решает система магнетронного распыления

Система магнетронного распыления предназначена для исследования твердотельных тонкоплёночных литиевых батарей и последовательного нанесения многослойных плёнок.
Нанесение покрытий

Характеристики ЕГЯ-89(8Ж)

Модель (по базе 91Т)ЕГЯ-89(8Ж)
МатериалРотационная установка плазменного распыления
Размер1200 мм (длина) × 740 мм (ширина) × 900 мм (высота)
Система магнетронного распыления - гибкость поставки.
Мы знаем, что задачи каждого проекта отличаются. Поэтому по вашему запросу мы готовы рассмотреть возможность адаптации технических характеристик, типоразмеров и комплектации ЕГЯ-89(8Ж) под конкретные условия применения (силами первого производителя или силами нашего завода в России).

Дата последней проверки актуальности данных: 06.10.26

Данные о производителе и характеристиках проверены.

Люди, которые искали Система магнетронного распыления, также смотрели:

Дизельная генераторная установка в шумозащитном кожухе+5 фото

Дизельная генераторная установка в шумозащитном кожухе

Модель: ЭНМ-77(1У)
Генераторная установка рассчитана на 400 кВт и 500 кВА. Для охлаждения предусмотрена водяная система. Номинальный ток составляет 720 А, номинальное напряжение — 400/230 В. Запуск осуществляется электрической системой от постоянного тока напряжением 24 В.
Компактное устройство сонарной визуализации с дисплеем 228,6 мм

Компактное устройство сонарной визуализации с дисплеем 228,6 мм

Модель: ЛДИ-78(1Ф)
Устройство сонарной визуализации оснащено дисплеем с диагональю 228,6 мм и имеет степень защиты IP67. Точность составляет ±1%.
Малогабаритный гусеничный самосвал-бетоносмеситель

Малогабаритный гусеничный самосвал-бетоносмеситель

Модель: ЕКГ-82(7Я)
Малогабаритный гусеничный самосвал-бетоносмеситель сочетает функции смешивания и выгрузки бетонной смеси. Мощность смешивания составляет 3 кВт, а скорость вращения смесительного барабана — 25–30 об/мин.
Переносной электрический смеситель цементного раствора для смешивания больших объёмов+5 фото

Переносной электрический смеситель цементного раствора для смешивания больших объёмов

Модель: ГЭП-92(2М)
Переносной электрический смеситель цементного раствора предназначен для смешивания больших объёмов цементного раствора с высокой интенсивностью сдвига. Производительность загрузки составляет 1500 л, мощность смешивания — 14 кВт, а производительность выгрузки — 150 л.