Задача: Осаждение тонких пленок
+5 фотоТрубчатая печь с плазменным источником
Модель: МТА-18(5В)
Система выполнена в виде трубчатой печи с раздвижной направляющей и разъёмной рабочей трубой. Доступны варианты кварцевой трубы с наружным диаметром 50, 80 или 130 мм; труба высокой чистоты устанавливается опционально. Рабочая температура достигает 1200 °C при нагреве продолжительностью менее 60 мин
+5 фотоСистема плазменно-усиленного химического осаждения из паровой фазы
Модель: ЖРЮ-49(7И)
Оборудование реализует параллельно-пластинчатую емкостную схему, в которой плазма активирует реакционноспособные газы и способствует химическим реакциям на поверхности подложки. Исходный газ ионизируется, а низкотемпературная плазма используется как источник энергии процесса. Система выполнена в вид
Высокотемпературная система для обработки пластин размером до 152,4 мм с нагревом до 1600 °C
Модель: ШФЮ-45(5Р)
Графитовый держатель подложки нагревается индукционной системой с точным контролем температуры. Распределительная головка из нитрида бора обеспечивает равномерную подачу прекурсоров на подложку; диаметр отверстия составляет 0,5 мм. Герметичная кварцевая камера предназначена для работы с прекурсорами
+3 фотоТрёхзонная трубчатая печь с системой подачи источников испарения
Модель: ВХЯ-18(5А)
Печь имеет разъёмную конструкцию и независимую настройку температуры каждой зоны. Система подачи перемещает один или три тигля с испаряемым материалом через рабочую трубу в вакууме либо в атмосфере с контролируемыми параметрами, доставляя их в горячую зону для испарения и осаждения. Возможны последо
+4 фотоУльтразвуковая трубчатая печь для пиролиза распылением
Модель: ФЖУ-74(2Э)
Установка включает ультразвуковой барботер для генерации аэрозоля, трубчатую печь для термического разложения и электростатический осадитель. Барботер с частотой 1,7 МГц испаряет жидкий катализатор без выделения тепла; последовательно подключённый коллектор из нержавеющей стали препятствует поступле
+2 фотоВысоковакуумный магнетронный источник распыления
Модель: СВЮ-72(8Ш)
Источник имеет круглую распылительную головку для мишеней диаметром 50,8 мм и совместим с металлическими, изолирующими, магнитными и немагнитными мишенями. Круглый редкоземельный постоянный магнит обеспечивает равномерность плёнки и использование до 30 % материала мишени. Головка наклоняется на ±25°
+4 фотоЛабораторная система осаждения тонких плёнок с вакуумным сушильным шкафом
Модель: АКА-54(2Б)
Компактная лабораторная система оснащена пятью высокочастотными клапанами, распределительной головкой для газа и пара диаметром 101,6 мм с отверстиями 0,5 мм и вращающейся нагреваемой платформой для образца. Радиочастотный генератор имеет мощность 300 Вт. Управление выполняется с панели и программно
+5 фотоУстановка для нанесения тонких плёнок 2 в 1
Модель: ЖБЕ-91(4Л)
Вакуумная камера из нержавеющей стали содержит магнетронную распылительную головку диаметром 25,4 мм с быстросъёмным соединителем для высокого вакуума и тигель для термического испарения. Распыление выполняется снизу вверх; расстояние до площадки образца регулируется от 60 до 100 мм, а поворотная за
+5 фотоЛабораторная система плазмохимического осаждения из паровой фазы
Модель: РМЕ-22(7Ж)
Система предназначена для плазмохимического осаждения в высоком вакууме. Емкостной метод с параллельными пластинами использует плазму для активации реакционных газов и ускорения химических реакций на поверхности или в приповерхностной области подложки. Конструкция выполнена в виде одной трубы с ручн